容栅传感器的误差平均效应
ERRORS AVERAGE EFFECT OF CAPACITANCE SENSOR作者机构:成都大学 成都精密测量工程公司
出 版 物:《机械工程学报》 (Journal of Mechanical Engineering)
年 卷 期:1996年第32卷第4期
页 面:37-42页
核心收录:
学科分类:080202[工学-机械电子工程] 08[工学] 0802[工学-机械工程]
摘 要:介绍了容栅传感器的工作原理,分析了容栅传感器的精度,提出了一种容栅传感器刻线误差的新而具体的计算方法,按该方法计算出的结果与实测得到的结果极为吻合。据此,对容栅传感器的主要元件(动、定栅板)的制造精度要求不必过高。因而,这个计算方法具有重要的实用价值。