ITO导电薄膜透明图案对比度增强方法

作     者：陈方涵 赵光宇 蒋仕龙 彭文达 CHEN Fang-han;ZHAO Guang-yu;JIANG Shi-long;PENG Wen-da

作者机构：深圳大学光电工程学院光电子器件与系统(教育部/广东省)重点实验室广东深圳518060 北京大学深圳研究院运动控制技术实验室广东深圳518057 华南师范大学华南先进光电子研究院光及电磁波研究中心广州510006 

出 版 物：《光子学报》 (Acta Photonica Sinica)

年 卷 期：2015年第44卷第5期

页      面：194-198页

核心收录：

学科分类：080903[工学-微电子学与固体电子学] 070207[理学-光学] 07[理学] 0809[工学-电子科学与技术（可授工学、理学学位）] 08[工学] 080501[工学-材料物理与化学] 0805[工学-材料科学与工程（可授工学、理学学位）] 080502[工学-材料学] 0803[工学-光学工程] 0702[理学-物理学] 

基　　金：广东省引进创新科研团队计划(No.201001D0104799318)资助 

主　　题：机器视觉 小波变换 LED照明 表面缺陷 图像增强 透明导电薄膜 缺陷识别 

摘      要：铟锡氧化物(Indium Tin Oxide,ITO)导电层是触控显示技术的绝对定位元件,为保障定位的灵敏性和准确性,需对导电层表面缺陷进行质量检测.本文针对导电层透明区域机器视觉自动检测存在的问题,提出了图案对比度增强的方法.该方法首先利用ITO材料的光谱属性及其表面光学特性,设计出用于ITO导电层检测的近红外同轴光照明,将图像对比度从零提高到4.5%.在通过光学方法实现了对比度从无到有的转变后,充分利用数字图像预处理的优势,结合基于小波变换的非线性增强方法,最终成功将对比度提高至16%,为后续ITO导电层缺陷的分析和识别提供了良好保障.