3d过渡族金属杂质在硅中的行为
Behavior of 3d Transition Metals in Sillicon Crystal作者机构：浙江大学硅材料国家重点实验室
出 版 物：《材料科学与工程》 (Materials Science and Engineering)
年 卷 期：1997年第15卷第4期
页 面：19-21页
核心收录：
学科分类：080903[工学-微电子学与固体电子学] 0809[工学-电子科学与技术（可授工学、理学学位）] 08[工学] 080501[工学-材料物理与化学] 0805[工学-材料科学与工程（可授工学、理学学位）] 080502[工学-材料学]
摘 要：本文综述了３ｄ过渡族金属在直拉硅单晶中的扩散、溶解、沉淀及间隙位演变等性质，介绍了国际上在此领域的研究进展，为进一步开展这方面的工作提供了有益的借鉴。
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