SmCo基多元合金薄膜的成分调控研究
Investigation on the Mediated Composition of SmCo-based Multinary Alloy Films作者机构：成都信息工程学院四川成都610225 电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室四川成都610054
出 版 物：《稀有金属材料与工程》 (Rare Metal Materials and Engineering)
年 卷 期：2012年第41卷第6期
页 面：1055-1059页
核心收录：
学科分类：0808[工学-电气工程] 0809[工学-电子科学与技术（可授工学、理学学位）] 08[工学] 0806[工学-冶金工程] 0805[工学-材料科学与工程（可授工学、理学学位）] 080502[工学-材料学] 0703[理学-化学] 0702[理学-物理学]
基 金：国家自然科学基金(61001025) 成都信息工程学院科研基金(KYTZ201112)资助
摘 要：基于溅射理论和分子热力学理论建立了SmCo基多元合金薄膜的成分调控模型,讨论了溅射参数对薄膜成分的影响规律。随后以Sm(Co0.62Fe0.25Cu0.1Zr0.03)7.5合金为靶材,采用磁控溅射工艺在单晶Si基片上制备了SmCo基多元合金薄膜,测试了不同溅射工艺制备薄膜的成分。结果表明:通过模型计算得到的薄膜成分对溅射参数的依赖关系与实验结果吻合,验证了模型的有效性。
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