激光诱导击穿光谱在材料表面分析领域中的应用进展

作     者：张勇 贾云海 陈吉文 刘英 沈学静 赵雷 王书明 于洪 韩鹏程 屈华阳 刘少尊 ZHANG Yong;JIA Yun-hai;CHEN Ji-wen;LIU Ying;SHEN Xue-jing;ZHAO Lei;WANG Shu-ming;YU Hong;HAN Peng-cheng;QU Hua-yang;LIU Shao-zun

作者机构：钢铁研究总院北京100081 北京纳克分析仪器有限公司北京100094 北京有色金属研究总院北京100088 中国地质科学院矿产资源研究所北京100037 

出 版 物：《光谱学与光谱分析》 (Spectroscopy and Spectral Analysis)

年 卷 期：2012年第32卷第6期

页      面：1441-1446页

核心收录：

学科分类：08[工学] 0805[工学-材料科学与工程（可授工学、理学学位）] 080502[工学-材料学] 

基　　金：国家重大科学仪器设备开发专项(2011YQ140147)资助 

主　　题：激光诱导击穿光谱 材料科学 表面分析 应用进展 

摘      要：激光诱导击穿光谱作为表面分析工具是近十年发展起来的,对表面分析基础理论、仪器装置及其在材料科学领域中的应用进行详细的综述。重点阐述了激光诱导击穿光谱在国内外冶金、半导体、电子等材料科学领域中的元素分布分析及镀层分析应用进展,指出激光束单个脉冲能量、环境气体及气压、激光束能量分布等参数对分辨率的影响,同时指出在兼顾灵敏度的前提下提高分辨率的途径。与传统经典表面分析工具相比较具有扫描面积大、分析速度快及样品导电与否均可分析等优点,成为传统表面分析工具的有力补充。