溶胶-凝胶法制备YBa_2Cu_3O_(7-x)超导薄膜的研究

作     者：陈源清 赵高扬 薛人中 严复学 李颖 CHEN Yuan-qing;ZHAO Gao-yang;XUE Ren-zhong;YAN Fu-xue;LI Ying

作者机构：西安理工大学材料科学与工程学院陕西西安710048 西安理工大学材料现代分析测试中心陕西西安710048 

出 版 物：《功能材料》 (Journal of Functional Materials)

年 卷 期：2006年第37卷第9期

页      面：1423-1425,1428页

核心收录：

学科分类：080801[工学-电机与电器] 0808[工学-电气工程] 08[工学] 0805[工学-材料科学与工程（可授工学、理学学位）] 080502[工学-材料学] 

基　　金：国家重大基础研究前期研究专项资助项目(2003CCA03300) 国家自然科学基金资助项目(904401009) 

主　　题：YBa2Cu3O7-x TFA 薄膜 

摘      要：传统的TFA-MOD法制备YBa2Cu3O7-x薄膜,采用Y、Ba、Cu 3种金属的三氟醋酸盐(TFA)为先驱体,在热分解时,会产生大量的HF气体,即使通过将近20h的缓慢升温过程来对薄膜进行热分解,也难以获得较为光洁的表面,从而无法实现厚膜的制备。本文提出了一种新的含氟溶胶-凝胶工艺,通过减少溶胶中F的含量,并利用二乙醇胺做修饰剂,缩短了热分解时间,提高了薄膜的表面光洁度。利用该方法在(010)LaAlO3衬底上制备了具有良好c轴取向,临界转变温度为89K的YBCO超导薄膜。