溶胶-凝胶法制备SrBi_2Ta_2O_9铁电陶瓷薄膜

作     者：季惠明 张颖 徐廷献 

作者机构：天津大学高温结构陶瓷及工程陶瓷加工技术教育部重点实验室天津300072 

出 版 物：《应用化学》 (Chinese Journal of Applied Chemistry)

年 卷 期：2002年第19卷第6期

页      面：531-534页

核心收录：

学科分类：080801[工学-电机与电器] 0808[工学-电气工程] 08[工学] 0805[工学-材料科学与工程（可授工学、理学学位）] 080502[工学-材料学] 

基　　金：国家自然科学基金资助重大项目 (5 9995 5 2 0 ) 

主　　题：铁电陶瓷薄膜 溶胶-凝胶 SrBi2Ta2O9 制备 钽酸锶铋 

摘      要：以可溶性无机盐为原料 ,通过溶胶 -凝胶法在 Al2 O3基片上制备了 Sr Bi2 Ta2 O9(SBT)铁电陶瓷薄膜 .实验结果表明 ,在前驱体溶胶制备中 ,络合剂的种类对溶胶的稳定性和 SBT相薄膜的形成有重要影响 .在以EDTA和乙二醇为络合剂时 ,易形成均匀稳定的溶胶和单一相的 SBT薄膜 .在薄膜制备工艺中 ,Bi2 O3的高温挥发性和薄膜的退火温度是控制制备过程的关键因素 .当 Bi过量 40 % ,且在 70 0℃的温度下退火热处理 ,可以制备出符合化学计量比、结晶性较好、具有均匀晶粒尺度的 Sr Bi2 Ta2 O9铁电陶瓷薄膜 .