用S枪代替电子枪的金属化工艺
A High Quality Metallization Process with S-gun作者机构：上海无线电十四厂
出 版 物：《微电子学与计算机》 (Microelectronics & Computer)
年 卷 期：1989年第6卷第10期
页 面：26-28页
学科分类：080903[工学-微电子学与固体电子学] 0809[工学-电子科学与技术（可授工学、理学学位）] 08[工学]
摘 要：S枪是一种枪型磁控溅射源,它可以代替电子束蒸发源或电阻蒸发源,制成高质量的金属镀层。用S枪可镀制预定配比的铝-硅,铝-硅-铜台金薄膜,其台阶覆盖特性优于电子枪,均匀性≤±5%;且控制方便,无X射线损伤。
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