扫描电子显微镜图像漂移的实时矫正方法

作     者：徐伟 谷森 储成智 靳振伟 汝长海 Xu Wei;Gu Sen;Chu Chengzhi;Jin Zhenwei;Ru Changhai

作者机构：苏州大学机器人与微系统研究中心江苏苏州215021 苏州纳米科技协同创新中心江苏苏州215021 

出 版 物：《光电工程》 (Opto-Electronic Engineering)

年 卷 期：2018年第45卷第12期

页      面：37-44页

核心收录：

学科分类：070207[理学-光学] 07[理学] 081203[工学-计算机应用技术] 08[工学] 0835[工学-软件工程] 0803[工学-光学工程] 0702[理学-物理学] 0812[工学-计算机科学与技术（可授工学、理学学位）] 

基　　金：国家自然科学基金资助项目(61774107)~~ 

主　　题：扫描电子显微镜 图像漂移 单应矩阵 矫正 

摘      要：为解决扫描电子显微镜(SEM)由于电子束漂移、电磁干扰等原因导致的图像漂移问题,提出基于ORB结合PROSAC的图像漂移矫正算法。首先采用ORB算法对基准图像和实时图像进行特征检测,然后利用汉明距离与交叉匹配实现特征的初匹配,再结合RANSAC的优化算法PROSAC计算帧间的单应矩阵,利用单应矩阵映射剔除外点后重新迭代计算出最终的精确单应矩阵,最后利用单应矩阵的透视变换实现SEM图像漂移实时矫正。通过实验证明,该算法不仅精度高,而且能够满足SEM实时处理的要求。