基于SIFT图像拼接算法的标准样板测量技术

作     者：程纪榕 赵军 蔡潇雨 邵力 Cheng Jirong;Zhao Jun;Cai Xiaoyu;Shao Li

作者机构：中国计量大学杭州310018 上海市计量测试技术研究院上海201203 

出 版 物：《微纳电子技术》 (Micronanoelectronic Technology)

年 卷 期：2019年第56卷第1期

页      面：71-77页

学科分类：081203[工学-计算机应用技术] 08[工学] 0835[工学-软件工程] 0812[工学-计算机科学与技术（可授工学、理学学位）] 

基　　金：国家重大科学仪器设备开发专项资助项目(2014YQ090709) 

主　　题：微纳米测量 图像拼接 标准样板 台阶高度标准 形貌重构 

摘      要：为了在使用高倍物镜测量标准样板时获得高分辨率的样本整体区域信息,提出了一种基于尺度不变特征变换(SIFT)图像拼接算法的标准样板测量技术。首先通过高倍物镜获取局部三维结构,将其转化为二维灰度图像;然后采用SIFT和RANSAC算法得到准确的特征点;最后采用加权平均融合算法得到完整图像,重构整体样板三维结构,并利用ISO5436-1∶2000对标准样板台阶高度进行评价。实验对100和400 nm两种高度的标准样板进行了测量和拼接,并对拼接后的台阶高度进行评价,测量均值分别为100.3和398.9 nm,实验表明该技术能准确还原标准样板中台阶的高度,有效扩大了标准样板形貌重构的范围。