有机源制备的氢化非晶碳膜的新颖发光行为
Blue and Green Light Emission from a-C∶H Film Prepared by Organic Source作者机构：南京大学物理系
出 版 物：《南京大学学报（自然科学版）》 (Journal of Nanjing University（Natural Science）)
年 卷 期：2001年第37卷第4期
页 面：497-501页
核心收录：
基 金：国家自然科学基金 (5 980 2 0 0 4) 江苏省自然科学基金 (BK990 47)
主 题：有机源 光致发光 氢化非晶碳膜 制备 等离子体增强化学气相沉积 发光特性
摘 要：利用有机碳源 (二甲苯 ) ,采用等离子体增强化学气相沉积 (PECVD)系统制备了一系列氢化非晶碳 (a C :H)薄膜样品 .与利用甲烷 (CH4)制备的a C :H不同 ,该样品的光致发光峰位于蓝绿光范围并且呈现多峰结构 ,而不是表现为一个较宽的单峰 .同时样品发光峰的特征随着制备过程中功率不同而变化 .认为 :a C :H薄膜中的芳香环结构的引入产生了新的发光中心 。
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