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新型电子功能材料——金刚石膜及其应用

作     者:薛泉林 

作者机构:电子部七所 

出 版 物:《电子科技导报》 (E-Business Journal)

年 卷 期:1997年第7期

页      面:30-32页

学科分类:080903[工学-微电子学与固体电子学] 0809[工学-电子科学与技术(可授工学、理学学位)] 08[工学] 080501[工学-材料物理与化学] 0805[工学-材料科学与工程(可授工学、理学学位)] 080502[工学-材料学] 

主  题:金刚石 薄膜 电子功能材料 

摘      要:金刚石材料具有其它半导体材料不可比拟的许多优点,作为一种新型电子功能材料,有广泛应用前景。文内介绍了部分应用实例。

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