无源多通道神经硅微电极的设计方法
Design Method of Passive Multichannel Silicon Neural Microelectrode作者机构:天津大学精密测试技术与仪器国家重点实验室天津300072
出 版 物:《纳米技术与精密工程》 (Nanotechnology and Precision Engineering)
年 卷 期:2005年第3卷第2期
页 面:101-105页
学科分类:080901[工学-物理电子学] 0809[工学-电子科学与技术(可授工学、理学学位)] 08[工学]
主 题:设计方法 微电极 多通道 无源 硅 参数确定方法 信号测量 制造工艺 大脑皮层 电路模型 神经信号 机械特性 干扰噪声 负载能力 设计原则 探针 互连线 结构
摘 要:为了探讨一种用于神经信号测量的无源多通道硅微电极的设计方法,基于电极的结构和制造工艺,提出了硅微电极用于测量神经信号的电路模型.从大脑皮层及脑膜的结构、互连线的干扰噪声和探针的机械特性3个方面讨论了神经微电极探针的几何参数确定方法,并提出了在满足一定负载能力以穿透硬度较大的脑膜的前提下,尽量减小探针体积的设计原则.