以无机盐为出发原料的喷雾热解法制备ITO薄膜的研究

作     者：高赟 赵高扬 段宗范 任洋 GAO Yun;ZHAO Gaoyang;DUAN Zongfan;REN Yang

作者机构：西安理工大学材料科学与工程学院陕西西安710048 

出 版 物：《西安理工大学学报》 (Journal of Xi'an University of Technology)

年 卷 期：2014年第30卷第2期

页      面：175-179页

学科分类：08[工学] 080501[工学-材料物理与化学] 0805[工学-材料科学与工程（可授工学、理学学位）] 

基　　金：陕西省国际科技合作重点资助项目(101-221316) 

主　　题：出发原料 喷雾热解 沉积速率 ITO薄膜 

摘      要：分别以In（NO3）3·4.5H2O与InCl3·4H2O为出发原料、SnCl4·5H2O为掺杂剂、乙酰丙酮（AcAcH）为螯合剂、甲醇为溶剂使用喷雾热解法在普通钠钙玻璃板上制备了ITO薄膜。以In（NO3）3·4.5H2O为出发原料沉积ITO薄膜速率慢,沉积出的薄膜无择优取向,其晶粒在100～150nm之间,品质因数为4.03×10-3Ω-1;而以InCl3·4H2O为出发原料沉积ITO薄膜速率快,沉积出的薄膜具有（400）择优取向,其晶粒尺寸在200～400nm之间,品质因数为5.85×10-3Ω-1。