金刚石薄膜的分层生长
GRADATIONAL GROWTH OF DIAMOND THIN FILMS作者机构：湖南大学化学化工系湖南大学测试中心
出 版 物：《微细加工技术》 (Microfabrication Technology)
年 卷 期：1996年第4期
页 面：67-70页
学科分类：08[工学] 080501[工学-材料物理与化学] 0805[工学-材料科学与工程（可授工学、理学学位）]
摘 要：采用热丝化学气相沉积生长出优异的金刚石薄膜。研究了薄膜的分层生长过程，薄膜的层状结构及膜厚随沉积时间的变化特性。
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