离子敏感场效应器件研究的进展
作者机构:中国科学院上海冶金所东南大学
出 版 物:《仪器仪表学报》 (Chinese Journal of Scientific Instrument)
年 卷 期:1995年第16卷第3期
页 面:322-325页
核心收录:
学科分类:080903[工学-微电子学与固体电子学] 0809[工学-电子科学与技术(可授工学、理学学位)] 08[工学] 080501[工学-材料物理与化学] 0805[工学-材料科学与工程(可授工学、理学学位)] 080502[工学-材料学]
摘 要:离子敏感场效应器件研究的进展牛蒙年(中国科学院上海冶金所)丁辛芳,童勤义(东南大学)0引言离子敏感场效应器件自问世至今已有二十多年,目前已能成功地对二十多种离子进行传感,而且形成多种对生物信号敏感的场效应结构传感器,如BioFET、ENFET、IMF...