TOF-SIMS纳秒级脉冲发生器的设计

作     者：孙玉桥 邱春玲 杨光 李春生 SUN Yuqiao;QIU Chunling;YANG Guang;LI Chunsheng

作者机构：吉林大学仪器科学与电气工程学院长春130021 

出 版 物：《实验室研究与探索》 (Research and Exploration In Laboratory)

年 卷 期：2018年第37卷第6期

页      面：72-75页

学科分类：08[工学] 080401[工学-精密仪器及机械] 0804[工学-仪器科学与技术] 081102[工学-检测技术与自动化装置] 0811[工学-控制科学与工程] 

基　　金：国家重大科学仪器设备开发专项(2011YQ050069) 

主　　题：现场可编程门阵列 延时 斜坡电路 同步 

摘      要：脉冲发生器可为飞行时间二次离子质谱仪(TOF-SIMS)各部件提供精确的工作时序,确保整机正常工作。基于FPGA/NIOS II技术,整个装置具有集成度高、设计灵活的优点。针对TOF-SIMS对延时精度的要求,该装置采用FPGA内部计数器实现10 ns以上的粗延时,用简化后的斜坡电路实现10 ns以下的细延时,并对斜坡电路进行误差分析。实测本脉冲发生器延时分辨率达100 ps,输出信号峰峰值抖动小于200 ps。TOF-SIMS仪器锆石谱图测试结果表明,脉冲发生器的指标满足整机仪器的要求。