非共轴掠入射KB与KBA X射线显微镜的成像特性分析
Imaging characteristics for non-coaxial grazing-incidence KB and KBA X-ray microscope作者机构：鲁东大学物理与电子工程学院山东烟台264025 鲁东大学交通学院山东烟台264025
出 版 物：《应用光学》 (Journal of Applied Optics)
年 卷 期：2008年第29卷第6期
页 面：884-888页
学科分类：070207[理学-光学] 07[理学] 08[工学] 0803[工学-光学工程] 0702[理学-物理学]
主 题：X射线成像 KBA显微镜 掠入射光学系统 消像散系统
摘 要：由于X射线在介质中被强烈地吸收,加之介质的折射率在X射线波段略小于1,这些因素给X射线成像增加了很多难度,常规的成像方法难以适应X射线波段,目前多采用掠入射反射成像和编码孔径成像方法。详细分析掠入射情况下单镜及双反射镜的成像特性,对组成KBA显微镜的反射镜在掠入射条件下的焦距、视场倾斜、光阑位置等进行研究。研究结果表明:对于双反射镜结构,掠入射角为双反射镜夹角1/2时视场倾斜最少,光阑放在第2个镜子上成像质量优于放在第1个镜子上。最后分析KBA显微镜结构安排的合理性,从而为KBA显微镜设计和加工提供理论依据。
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