声表面波气敏传感器敏感薄膜厚度的研究
Study on the Thickness of Sensitive Layer of Surface Acoustic Wave Gas Sensor作者机构：南开大学现代光学研究所天津300071 天津工业大学理学院天津300160 安徽大学计算智能与信号处理教育部重点实验室安徽合肥230039
出 版 物：《压电与声光》 (Piezoelectrics & Acoustooptics)
年 卷 期：2009年第31卷第4期
页 面：461-463页
核心收录：
学科分类：070208[理学-无线电物理] 07[理学] 080202[工学-机械电子工程] 08[工学] 0802[工学-机械工程] 0702[理学-物理学]
基 金：国家自然科学基金资助项目(60572018) 天津市科技发展计划科技攻关基金资助项目(05YFGPGX04900)
摘 要：理论上研究了声表面波气敏传感器敏感薄膜厚度对系统灵敏度的影响。分析了气体浓度、敏感薄膜厚度、敏感薄膜密度对系统灵敏度的共同影响。提出了最佳薄膜厚度的概念,并给出了相应的关系式。
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