ZnO∶W透明导电薄膜的调制生长与表面氢化处理

作     者：胡克艳 陈义川 张效华 朱文均 帅伟强 胡跃辉 Hu Keyan;Chen Yichuan;Zhang Xiaohua;Zhu Wenjun;Shuai Weiqiang;Hu Yuehui

作者机构：景德镇陶瓷大学机械与电子工程学院江西景德镇333403 

出 版 物：《光学学报》 (Acta Optica Sinica)

年 卷 期：2018年第38卷第5期

页      面：353-358页

核心收录：

学科分类：08[工学] 080501[工学-材料物理与化学] 0805[工学-材料科学与工程（可授工学、理学学位）] 080502[工学-材料学] 

基　　金：国家自然科学基金(61464005) 江西省科技厅自然科学重点项目(20143ACB21004 20151BDH80031 20151BAB212008) 江西省教育厅自然科学项目(GJJ150912) 

主　　题：薄膜 ZnO∶W透明导电薄膜 磁控溅射 氢化处理 绒度结构 陷光效应 

摘      要：采用射频磁控溅射法,在不同溅射功率下沉积ZnO∶W薄膜层55min,然后通入体积分数为5%的氢气,并保持溅射参数不变,表面氢化处理8min,获得了表面具有绒面结构的ZnO∶W透明导电薄膜。对样品的显微形貌、结构和表面绒度等性能进行了测试与分析,结果表明:在200 W的溅射功率条件下,氢化处理8 min获得的ZnO∶W样品表面绒度达到92.82,同时具备优异的导电性能(电阻率均值3.93×10^(-4)Ω·cm)。这种表面绒面结构有望进一步提高ZnO透明导电电极电池的转换效率。