集成线性渐变滤光片和InGaAs焦平面的微型光谱模组及其波长定标（英文）
Integrated Linear Variable Filter/InGaAs Focal Plane Array Spectral Micro-module and Its Wavelength Calibration作者机构：中国科学院上海技术物理研究所传感技术联合国家重点实验室上海200083 中国科学院上海技术物理研究所中国科学院红外成像材料与器件重点实验室上海200083
出 版 物：《光子学报》 (Acta Photonica Sinica)
年 卷 期：2018年第47卷第5期
页 面：199-204页
核心收录：
学科分类：08[工学] 0803[工学-光学工程] 0702[理学-物理学]
基 金：The National Natural Science Foundation of China(No.61376052)
主 题：光谱学 InGaAs 焦平面 线性渐变滤光片 波长定标
摘 要：提出一种集成线性渐变滤光片和InGaAs焦平面的微型近红外光谱模组.作为核心分光元件,线性渐变滤光片被紧密耦合在光敏芯片表面.相比于光栅分光方式,模组具有紧凑的光学结构和稳定的光学特性.对此光谱模组进行波长定标实验,并给出了标定准确性评价.实验结果表明,该光谱模组的波长范围为900~1 700nm,波长准确性优于1.3nm,光谱分辨率小于通道中心波长的1.25%.基于此光谱模组的波长定标方法准确、可行,可以被用于微型近红外仪等在线光谱分析领域.
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