压电陶瓷微位移特性的电脑接触式干涉测量法
Measurement of Computer Contact Type Interferometer onCharacter of Piezoelectric Ceramic Microdisplacement作者机构：南京理工大学电光学院
出 版 物：《压电与声光》 (Piezoelectrics & Acoustooptics)
年 卷 期：1998年第20卷第4期
页 面：283-286页
核心收录：
学科分类：080801[工学-电机与电器] 0808[工学-电气工程] 08[工学] 0805[工学-材料科学与工程（可授工学、理学学位）] 080502[工学-材料学] 0803[工学-光学工程]
摘 要：介绍了压电陶瓷微位移器的工作原理，在此基础上提出了一种用由立式接触式干涉仪改造的电脑接触式干涉仪测量微位移特性的方法。其完善的测试软件系统，实现了对压电陶瓷微位移量的自动化、智能化精密测量。并对自行设计的压电陶瓷微位移装置进行了测试，得出电压－位移的关系曲线和迟滞曲线，精度和重复性值达０．０１μｍ。
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