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〈111〉籽晶的偏角和偏离方向对生长无位错真空区熔硅单晶的影响

作     者:蒋泉 罗守礼 

作者机构:北京有色金属研究总院 

出 版 物:《稀有金属》 (Chinese Journal of Rare Metals)

年 卷 期:1986年第12卷第1期

页      面:1-3页

学科分类:080903[工学-微电子学与固体电子学] 0809[工学-电子科学与技术(可授工学、理学学位)] 08[工学] 080501[工学-材料物理与化学] 0805[工学-材料科学与工程(可授工学、理学学位)] 080502[工学-材料学] 

主  题:偏角 偏离方向 成晶 区熔硅单晶 籽晶 种晶 位错 晶体缺陷 

摘      要:一、前言 无位错真空区熔硅单晶是一种比较理想的Si(Li)X射线探测器级材料,具有低氧低碳的优点,但在真空下生长无位错单晶比在气氛下生长困难得多。实践表明籽晶的取向对生长无位错单晶有较大的影响。国外曾报道过气氛下生长无位错单晶与籽晶的取向有关。本实验的目的是探讨真空下生长无位错硅单晶是否与

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