工业CT二维空间分辨力的校准方法

作     者：陈思文 施玉书 张欣宇 崔芳芳 宋旭 高思田 胡晓东 Chen Siwen;Shi Yushu;Zhang Xinyu;Cui Fangfang;Song Xu;Gao Sitian;Hu Xiaodong

作者机构：天津大学精密仪器与光电子工程学院天津300072 中国计量科学研究院纳米新材料计量研究所北京100029 广东省计量科学研究院长度室广州510405 中国商飞上海飞机设计研究院上海201210 中国计量科学研究院长度计量科学与精密机械测量技术研究所北京100029 

出 版 物：《纳米技术与精密工程》 (Nanotechnology and Precision Engineering)

年 卷 期：2017年第15卷第6期

页      面：494-498页

学科分类：08[工学] 080203[工学-机械设计及理论] 0802[工学-机械工程] 

主　　题：工业CT 空间分辨力 线对卡 调制传递函数 图像处理 校准实验 

摘      要：工业CT的空间分辨力是指从CT图像中能够分辨特定的最小几何细节的能力,是评价一台工业CT系统测量能力的重要参数之一.为了提升工业CT的测量能力及成像质量,需要对其空间分辨力进行校准实验.针对这一问题设计出栅格形及交叉形分辨力线对卡,使用光刻工艺完成其研制过程,并基于此结合本底校正等图像处理方法进行了系统二维空间分辨力校准实验,通过调制传递函数MTF计算出实验系统的空间分辨力数值,验证了此方法可用于校准CT分辨力的实验意义.最后,对如何提升测量准确度的问题进行了探讨.