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一种用于电子装备的硅片传输机械手

A Wafer Transfer Manipulator Used in Electronic Equipment

作     者:张世强 杨志 

作者机构:中国电子科技集团公司第四十五研究所北京100176 

出 版 物:《电子工业专用设备》 (Equipment for Electronic Products Manufacturing)

年 卷 期:2012年第41卷第9期

页      面:21-23,53页

学科分类:080903[工学-微电子学与固体电子学] 0809[工学-电子科学与技术(可授工学、理学学位)] 08[工学] 080501[工学-材料物理与化学] 0805[工学-材料科学与工程(可授工学、理学学位)] 080502[工学-材料学] 

主  题:机械手 电子装备 硅片传输 直线电机 

摘      要:机械手替代人工完成硅片传输可以大幅提高生产效率,传输精度和降低碎片率,机械手的使用是现代电子装备自动化的重要标志。介绍了适用于硅片传输的具有x、y、z、θ向运动功能的机械手及技术指标,重点从总体效率要求及负载对电机的受力进行详细计算,并对x、y向底座的设计做了详细描述;该机械手已应用于生产线的设备上,满足设计要求。

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