化合物半导体材料加工中的三废防治
Three Wastes and Their Treatments in Mechanical Processing作者机构：北京有色金属研究总院
出 版 物：《稀有金属》 (Chinese Journal of Rare Metals)
年 卷 期：1998年第22卷第6期
页 面：429-433页
核心收录：
学科分类：080903[工学-微电子学与固体电子学] 0809[工学-电子科学与技术（可授工学、理学学位）] 08[工学] 080501[工学-材料物理与化学] 0805[工学-材料科学与工程（可授工学、理学学位）] 080502[工学-材料学]
摘 要：讨论了ＧａＡｓ与ＧａＰ的毒性、中毒症状和解毒方法，比较了砷、磷的毒性异同，提出了在ＧａＡｓ与ＧａＰ材料加工过程中开展三废防治的设想。
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