提高敏感器件性能的措施
The Approach for Improving Performances of Sensing Devices作者机构：四川压电与声光技术研究所
出 版 物：《压电与声光》 (Piezoelectrics & Acoustooptics)
年 卷 期：1994年第16卷第3期
页 面：27-30页
核心收录：
学科分类：080903[工学-微电子学与固体电子学] 0809[工学-电子科学与技术（可授工学、理学学位）] 08[工学] 080501[工学-材料物理与化学] 0805[工学-材料科学与工程（可授工学、理学学位）] 080502[工学-材料学]
摘 要：本文从影响敏感器件性能的主要弱点着手，采取扩大和加深振梁节点孔径的设计方案。实验结果表明采用此方案研制的敏感器件，其读出、阻尼面的增益和Ｑ值有明显提高。
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