CVD金刚石微剂量仪的辐射优化研究

作     者：陆荣荣 裘惠源 姜达 李晓林 朱节清 

作者机构：中国科学院上海原子核研究所上海201800 

出 版 物：《核技术》 (Nuclear Techniques)

年 卷 期：2003年第26卷第3期

页      面：207-211页

核心收录：

学科分类：080903[工学-微电子学与固体电子学] 082704[工学-辐射防护及环境保护] 0809[工学-电子科学与技术（可授工学、理学学位）] 08[工学] 080501[工学-材料物理与化学] 0805[工学-材料科学与工程（可授工学、理学学位）] 080502[工学-材料学] 0827[工学-核科学与技术] 

基　　金：国家自然科学基金(19975065)资助 

主　　题：CVD金刚石微剂量仪 收集效率 侧向微束离子诱导电荷 半导体 金刚石薄膜 化学气相沉积 辐射优化 

摘      要：金刚石材料具有大的能带间隙、快的电荷收集和低的介电常数等,在较恶劣的实验环境下(如对于超大规模的强子对撞机和同步辐射加速器进行近距离、高辐射条件下的信号探测),有望成为常规的硅、砷化镓等探测器的替代品。为了改进金刚石探测器的性能,本文采用5MeV质子对CVD金刚石微剂量仪进行了辐照,并采用侧向微束离子诱导电荷(IBIC)技术分析研究其性能。实验发现:①经46 Gy质子辐照后金刚石探测器的收集效率得到了很大的改善;②收集效率和计数的均匀性也得到了提高,尤其是计数的均匀性,在窄条宽很小情况下其均匀性已达95%以上。可见用质子辐照CVD金刚石是提高其性能的有效途径之一。