电子与固体相互作用——电子束显微分析的物理基础
作者机构：中国科学院上海硅酸盐研究所
出 版 物：《理化检验.物理分册》 (理化检验.物理分册)
年 卷 期：1980年第4期
页 面：11-16页
学科分类：08[工学] 0805[工学-材料科学与工程（可授工学、理学学位）] 080502[工学-材料学]
主 题：入射电子 非弹性散射 背散射电子 固体表面 表面相 显微分析 物理基础
摘 要：当具有一定动能的电子轰击固体表面时,将产生一系列复杂的物理过程。每一过程都相应地产生能表征固体内部某些性质的信息或效应,如背散射电子、二次电子、俄歇电子……。它们是各类电子束显微分析手段的物理基础。入射电子在固体中将受到原子的散射。这类散射,有的为弹性散射;有的为非弹性散射。入射电子中某个电子它可能刚入射到固体表面就被大角度的弹性散射折回到固体的外部,也可能进入固体后损失一部分能量将晶格中的电子激发到较高的能级,在其继
同方期刊数据库