铟锡氧化物及其应用
In-Tin Oxide and its Applications作者机构：广西冶金研究院广西南宁530023
出 版 物：《稀有金属与硬质合金》 (Rare Metals and Cemented Carbides)
年 卷 期：2003年第31卷第4期
页 面：51-55,57页
学科分类：080903[工学-微电子学与固体电子学] 0809[工学-电子科学与技术（可授工学、理学学位）] 08[工学] 080501[工学-材料物理与化学] 0805[工学-材料科学与工程（可授工学、理学学位）] 080502[工学-材料学]
主 题：ITO粉末 靶材 透明导电薄膜 铟锡氧化物 生产工艺
摘 要：简述了ITO粉末、ITO靶材、ITO透明导电薄膜的生产工艺、性质及用途,并介绍了国内外有关资源储量、生产和消费市场情况。
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