Cu对AlN/TiN-Cu复合多层膜微观结构和力学性能的影响
Effects of Cu on Microstructure and Mechanical Properties of AlN/TiN-Cu Nanocomposite Multilayers作者机构：四川大学原子核科学技术研究所辐射物理及技术教育部重点实验室成都610065 中国科学院金属研究所中国科学院核用材料与安全评价重点实验室沈阳110016
出 版 物：《金属学报》 (Acta Metallurgica Sinica)
年 卷 期：2017年第53卷第4期
页 面：465-471页
核心收录：
学科分类：08[工学] 080502[工学-材料学] 0805[工学-材料科学与工程（可授工学、理学学位）]
基 金：国家自然科学基金项目Nos.51171124和11505121 国家国际科技合作专项项目No.2014DFR50710 四川省科技支撑计划项目No.2014GZ0004 中科院核用材料与安全评价重点实验室开放课题项目No.2017NMSAKF02
摘 要：采用多弧离子镀膜设备制备了掺杂Cu的AlN/TiN-Cu纳米复合多层膜,利用FESEM、HRTEM和XRD分别表征了薄膜的微观结构和相组成,用压入法和划痕法确定了薄膜的硬度和膜/基结合力,研究了Cu对AlN/TiN-Cu复合多层膜微观结构和力学性能的影响。结果表明,Cu的掺杂对薄膜的微观结构有较大的影响。薄膜的平均晶粒尺寸随Cu含量的增加而逐渐减小。掺入少量Cu后,薄膜的硬度均有提高,但不同种类的薄膜有不同的临界载荷变化趋势,纳米复合单层薄膜的临界载荷有所增大,而纳米复合多层膜的临界载荷反而有所减小。
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