YBa_2Cu_3O_(7-x)薄膜的制备与半导体性能的研究

作     者：刘景和 孙强 李建立 刘向东 谢彪 李国桢 黄宗坦 黄承彩 李丹 黄江平 Liu Jinghe;Sun Qiang;Li Jianli;Liu Xiangdong;Xie Biao;Li Guozhen;Huang Zongtan;Huang Changcai;Li Dan;Huang Jiangping

作者机构：长春光学精密机械学院长春130022 昆明物理研究所昆明650223 

出 版 物：《硅酸盐学报》 (Journal of The Chinese Ceramic Society)

年 卷 期：2000年第28卷第6期

页      面：589-591页

核心收录：

学科分类：080903[工学-微电子学与固体电子学] 0809[工学-电子科学与技术（可授工学、理学学位）] 08[工学] 080501[工学-材料物理与化学] 0805[工学-材料科学与工程（可授工学、理学学位）] 080502[工学-材料学] 

基　　金：国防科工委跨行业重点项目! (CL96 -1) 

主　　题：半导体薄膜 过滤层 电阻温度系数 YBA2CU3O7-X 

摘      要：采用高温固相反应法制备6 0mmYBa2 Cu3O7-x(YBCO)靶材 ;通过直流磁控溅射后退火法制备具有不同过渡层 (SiO2 /Si,ZrO2 /SiO2 /Si)的薄膜 .对于Si为衬底的YBa2 Cu3O7-x薄膜 ,当x 0 .5时 ,薄膜的导电性由超导态转向半导体态 .进行了X射线衍射(XRD)分析 ,电阻温度系数 (RTC)和Hall系数测试 ,并进行Raman散射的微观分析实验 ,认为该半导体薄膜可用作室温工作的红外测辐射热计 (Bolometer)灵敏元 .