CZSi中氧的行为
Behavior of Oxygen in CZSi作者机构：中南工业大学
出 版 物：《上海金属（有色分册）》
年 卷 期：1989年第10卷第2期
页 面：31-35页
学科分类：07[理学] 070205[理学-凝聚态物理] 08[工学] 080501[工学-材料物理与化学] 0805[工学-材料科学与工程（可授工学、理学学位）] 0703[理学-化学] 0702[理学-物理学]
摘 要：讨论了CZSi中氧的四类行为:(1)由石英坩埚中直拉法生长晶体时氧的行为;(2)间隙氧的本征行为,例如扩散等;(3)亚稳结构,有O-V_(si),热施主与新施主,(4)热力学稳定结构,有各种氧沉淀及其诱生缺陷。
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