一种腐蚀清洗设备中的特异气体监测及处理
Special Gas Monitoring and Processing in Wet Etching Equipment作者机构：中国电子科技集团公司第四十五研究所北京101601
出 版 物：《电子工业专用设备》 (Equipment for Electronic Products Manufacturing)
年 卷 期：2017年第46卷第1期
页 面：28-30页
学科分类：080903[工学-微电子学与固体电子学] 0809[工学-电子科学与技术（可授工学、理学学位）] 08[工学] 080501[工学-材料物理与化学] 0805[工学-材料科学与工程（可授工学、理学学位）] 080502[工学-材料学]
摘 要：在湿法腐蚀清洗设备工艺过程中,使用盐酸和磷酸腐蚀表面材料为磷化铟的晶圆片,会产生一种有毒性的特异气体;针对这种特异气体,设计了一种对反应腔体内、设备内及室内的气体监测处理系统。
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