基于AZO/VO_2/AZO结构的电压诱导相变红外光调制器

作     者：徐婷婷 李毅 陈培祖 蒋蔚 伍征义 刘志敏 张娇 方宝英 王晓华 肖寒 Xu Ting-Ting Li Yi Chen Pei-Zu Jiang Wei Wu Zheng-Yi Liu Zhi-Min Zhang Jiao Fang Bao-Ying Wang Xi-ao-Hua Xiao Han

作者机构：上海理工大学光电信息与计算机工程学院上海200093 上海市现代光学系统重点实验室上海200093 上海电力学院电子与信息工程学院上海200090 上海健康医学院医学影像学院上海201318 

出 版 物：《物理学报》 (Acta Physica Sinica)

年 卷 期：2016年第65卷第24期

页      面：206-214页

核心收录：

学科分类：080902[工学-电路与系统] 07[理学] 0809[工学-电子科学与技术（可授工学、理学学位）] 070205[理学-凝聚态物理] 08[工学] 080501[工学-材料物理与化学] 0805[工学-材料科学与工程（可授工学、理学学位）] 0702[理学-物理学] 

基　　金：国家高技术研究发展计划(批准号:2006AA03Z348) 教育部科学技术研究重点项目(批准号:207033) 上海市科学技术委员会科技攻关计划(批准号:06DZ11415) 上海市教育委员会科技创新重点项目(批准号:10ZZ94) 上海市领军人才培养计划(批准号:2011-026)资助的课题~~ 

主　　题：AZO/VO_2/AZO 光透过率 相变 阈值电压 

摘      要：采用直流磁控溅射和后退火工艺先在掺Al氧化锌(AZO)导电玻璃基底上制备了高质量的VO_2薄膜,再在VO_2膜层上制备AZO导电膜,最终制备出了AZO/VO_2/AZO三明治结构.测试了VO_2/AZO复合薄膜和AZO/VO_2/AZO三明治结构的组分、微结构以及光学特性,结果表明VO_2/AZO复合薄膜在800—2300 nm红外区域其相变前后的最大透过率差值达24%,而AZO/VO_2/AZO三明治结构在相同波长范围内其相变前后的最大透过率差值可达31%.通过在AZO/VO_2/AZO三明治结构导电膜层上施加不同电压,观察到不同外界温度下电流的突变,当外界温度越高,所需阈值电压越低.AZO/VO_2/AZO三明治结构性能稳定,制备工艺简单,有望应用于集成式红外光调制器.