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用蒸馏法回收丁酮

作者机构:国营八二三三厂 

出 版 物:《半导体技术》 (Semiconductor Technology)

年 卷 期:1976年第4期

页      面:45-46页

主  题:丁酮 甲乙酮 脂肪族酮 蒸馏装置 淡化装置 蒸馏法 分离法 

摘      要:我厂对半导体器件生产光刻显影用过的废丁酮进行了回收,经生产实践证明,效果良好,现将有关内容介绍如下。 1.蒸馏装置 我们采用的蒸馏装置如图1所示。

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