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对不锈钢表面的辉光放电清洗

Glow Discharge Cleaned-Out the Stainless Steel Surface

作     者:冯广泽 洪文玉 唐素筠 孙立 

作者机构:西南物理研究所 

出 版 物:《真空科学与技术学报》 (Chinese Journal of Vacuum Science and Technology)

年 卷 期:1981年第5期

页      面:284-289+283页

主  题:辉光放电 谱峰 真空室 低压室 

摘      要:本文叙述了 Ar 气或 Ar+O2混合气中直流辉光放电清洗不锈钢表面。四极质谱计分析表明,去除了表面上的碳氢化合物和其它杂质气体,同时经过溅射刻蚀减少了表面粗糙度,也减小了解吸面积;同时用 X 射线微探针分析证明,基体合金组分没有发生变化。

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