作 者:冯广泽 洪文玉 唐素筠 孙立
作者机构:西南物理研究所
出 版 物:《真空科学与技术学报》 (Chinese Journal of Vacuum Science and Technology)
年 卷 期:1981年第5期
页 面:284-289+283页
主 题:辉光放电 谱峰 真空室 低压室
摘 要:本文叙述了 Ar 气或 Ar+O2混合气中直流辉光放电清洗不锈钢表面。四极质谱计分析表明,去除了表面上的碳氢化合物和其它杂质气体,同时经过溅射刻蚀减少了表面粗糙度,也减小了解吸面积;同时用 X 射线微探针分析证明,基体合金组分没有发生变化。