一种用于高通量筛选传感器敏感材料的气敏材料筛选平台

作     者：王小瑾 张顺平 张国柱 Wang Xiaojin;Zhang Shunping;Zhang Guozhu

作者机构：华中科技大学材料成型与模具技术国家重点实验室 

出 版 物：《电子技术（上海）》 (Electronic Technology)

年 卷 期：2012年第39卷第12期

页      面：53-56,48页

学科分类：080903[工学-微电子学与固体电子学] 0809[工学-电子科学与技术（可授工学、理学学位）] 08[工学] 080501[工学-材料物理与化学] 0805[工学-材料科学与工程（可授工学、理学学位）] 080502[工学-材料学] 

基　　金：国家自然科学基金 编号50927201 

主　　题：高通量 气敏材料 筛选平台 敏感度 

摘      要：设计并搭建了一个能够高通量表征材料气敏性能的测试平台。该测试平台具有高通量(36测试通道)、大的电阻测量范围(可测试500Ω-100MΩ,且测试误差小于5%)、控温准确(可精确至1℃)、界面友好等优点。以甲醛气体为样本,材料芯片由金属盐离子表面改性纳米SnO2制成,在该平台上进行测试。发现0.01mol/LCrCl3、0.02mol/LCrCl3、0.03mol/L CaCl2、0.03mol/L TiCl4掺杂的纳米SnO2材料在300℃条件下对甲醛有良好的响应。证实了该气敏材料测试平台用于高通量筛选材料的可行性。