咨询与建议
  • 全部检索
  • 电子图书
  • 电子期刊
  • 纸本馆藏
  • 南通市公共图书馆
高级检索

看过本文的还看了

相关文献

该作者的其他文献

文献详情 >磨角法测pnn+结构中n+层的结深 收藏
分享

磨角法测pnn+结构中n+层的结深

作     者：王礼贤 

作者机构：邮电五三五厂 

出 版 物：《半导体技术》 (Semiconductor Technology)

年 卷 期：1981年第1期

页      面：64-64页

主　　题：结深 pnn 磨角 

摘      要：在用磨角测量时,为避免粘片等引起的角度的误差,一般采用比例法为好（它的测量误差与角度的误差无关）。磨角显示后见图1,结深为:xi=(a/（2a+b）)·L 式中L是片厚,a、b分别为n+层与n层的厚度。

电子资源

读者评论 与其他读者分享你的观点

学校读者
用户名:未登录
我的评分