文献详情 >铬-银系多层布线收藏

铬-银系多层布线

出版物：《微电子学》 (Microelectronics)

年卷期：1972年第6期

页面：25-28页

主　　题：磷硅玻璃 PSG 膜厚比双层构造真空蒸发减压蒸发试验样品热处理时间

摘要：1.前言在设计集成电路、大规模集成电路时,关系到简便化、高速化及器件的超高密度的多层布线的研究在国内外均很重视。目前,把常用的钼单层布线应用于多层布线时,由于物理化学的和电气性质的不稳定而给可靠性带来了许多问题,它的适用性看来还有问

本地馆藏 |

1、借阅数量：每证可借书6册，期刊2册，团体读者证可借书刊300册。 2、借阅时间：个人借期为30天，每本书可续借1次，借期为30天；团体借期为90天。 3、归还地点：3楼服务台、自助借还设备、还书箱、各分馆 4、馆际互借：读者未能在本馆获取所需文献资料，可至参考咨询阅览室服务台填写《南通市图书馆馆际互借读者申请表》，根据馆际互借协议，我馆将为读者向其他馆代借文献。馆际互借过程中所产生的费用（资料复印、邮寄费等），由读者个人承担。 5、服务电话续借：59003605 59003606 咨询：81100100 59003600

电子资源

同方期刊数据库

目录详情 | 试阅读 |

读者评论与其他读者分享你的观点

学校读者

用户名:未登录

我的评分

欢迎您,

建议与咨询留下您的常用邮箱和电话号码，以便我们向您反馈解决方案和替代方法

时间限定

文献类型

馆藏选择

核心期刊

语言

文献类型

帮助

文字说明：

检索规则说明：

检索范例：

分类表

所选分类

看过本文的还看了

相关文献

该作者的其他文献

铬-银系多层布线

读者评论与其他读者分享你的观点

请选择收藏分类：

欢迎您,

建议与咨询 留下您的常用邮箱和电话号码，以便我们向您反馈解决方案和替代方法

时间限定

文献类型

馆藏选择

核心期刊

语言

文献类型

帮助

文字说明：

检索规则说明：

检索范例：

分类表

所选分类

看过本文的还看了

相关文献

该作者的其他文献

铬-银系多层布线

读者评论 与其他读者分享你的观点

请选择收藏分类： 新增自定义分类 确定 取消

建议与咨询留下您的常用邮箱和电话号码，以便我们向您反馈解决方案和替代方法

读者评论与其他读者分享你的观点

请选择收藏分类：