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光学薄膜的气相混合蒸镀

Vapor-phase mixed deposition of optical coatings

作     者:段致平 周九林 DUAN ZHIPING (Pingyuan Optical Instrument Plant, Jiaozuo, Henan)ZHOU JIULIN (South-West Technical Physics Institute, Chengdu)

作者机构:平原光学仪器厂 西南技术物理研究所 河南焦作 

出 版 物:《光学学报》 (Acta Optica Sinica)

年 卷 期:1988年第8卷第3期

页      面:261-265页

核心收录:

学科分类:0808[工学-电气工程] 0809[工学-电子科学与技术(可授工学、理学学位)] 07[理学] 070205[理学-凝聚态物理] 08[工学] 0805[工学-材料科学与工程(可授工学、理学学位)] 080502[工学-材料学] 0702[理学-物理学] 

主  题:相混合 气相 宽带增透膜 蒸镀 化学镀 膜料 

摘      要:本文论述气相混合蒸镀的实验方法,介绍了三种控制程序,给出了两种宽带增透膜的实验镀制结果.实验表明,气相混合蒸镀技术具有极大的应用潜力.

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