光学薄膜的气相混合蒸镀
Vapor-phase mixed deposition of optical coatings作者机构:平原光学仪器厂 西南技术物理研究所 河南焦作
出 版 物:《光学学报》 (Acta Optica Sinica)
年 卷 期:1988年第8卷第3期
页 面:261-265页
核心收录:
学科分类:0808[工学-电气工程] 0809[工学-电子科学与技术(可授工学、理学学位)] 07[理学] 070205[理学-凝聚态物理] 08[工学] 0805[工学-材料科学与工程(可授工学、理学学位)] 080502[工学-材料学] 0702[理学-物理学]
摘 要:本文论述气相混合蒸镀的实验方法,介绍了三种控制程序,给出了两种宽带增透膜的实验镀制结果.实验表明,气相混合蒸镀技术具有极大的应用潜力.