新兴光化学气相沉积非晶硅太阳电池的发展趋势
作者机构：中国科学院长春应用化学研究所
出 版 物：《太阳能学报》 (Acta Energiae Solaris Sinica)
年 卷 期：1988年第9卷第1期
页 面：99-106页
核心收录：
学科分类：0830[工学-环境科学与工程（可授工学、理学、农学学位）] 0808[工学-电气工程] 0809[工学-电子科学与技术（可授工学、理学学位）] 08[工学] 0807[工学-动力工程及工程热物理] 0805[工学-材料科学与工程（可授工学、理学学位）] 0702[理学-物理学]
主 题：非晶硅太阳电池 光化学气相沉积 转换效率 反应气体 短路电流密度 微晶硅 开路电压 沉积速度 填充因子 发展趋势
摘 要：本文综述了光化学气相沉积（Photo-CVD）法分解硅烷（SiH4,Si2H6）制备非晶硅（a-Si）膜的原理、膜的性质和a-Si太阳电池的光伏特性,报道了a-Si太阳电池的制备技术和发展现状,并对其前景进行了评述。
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