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CMOS器件参数的温度特性研究

作     者:喻德顺 王宏 崔艳玲 

作者机构:电子工业部东北微电子研究所 

出 版 物:《微处理机》 (Microprocessors)

年 卷 期:1988年第3期

页      面:1-8页

学科分类:080903[工学-微电子学与固体电子学] 0809[工学-电子科学与技术(可授工学、理学学位)] 08[工学] 080501[工学-材料物理与化学] 0805[工学-材料科学与工程(可授工学、理学学位)] 080502[工学-材料学] 

主  题:CMOS 倒相器 温度特性 载流子迁移率 转移特性曲线 硅栅 器件参数 沟道长度 

摘      要:CMOS 器件参数随温度的变化是 CMOSIC 高低温条件下失效的主要因素。本文从半导体器件的基础理论和 IC 设计理论出发,结合实验,着重分析了限制CMOS 数字 IC 工作温度范围的主要参数随温度的变化规律,给出了对这些参数进行理论计算、实际测量和计算机模拟所得到的温度数据、曲线和结论。并从工艺设计、版图设计等方面提出了较为实用的提高 CMOS数字 IC 温度稳定性、扩大其工作温度范围的有效措施。

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