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稀薄效应下空气静压主轴动态特性分析及试验研究

Dynamic Performance Analysis and Experiment Research of Aerostatic Spindle Under the Rarefaction Effects

作     者:陈东菊 董丽华 周帅 范晋伟 CHEN Dongju;DONG Lihua;ZHOU Shuai;FAN Jinwei

作者机构:北京工业大学机械工程及应用电子技术学院北京100124 

出 版 物:《四川大学学报(工程科学版)》 (Journal of Sichuan University (Engineering Science Edition))

年 卷 期:2016年第48卷第5期

页      面:180-185页

核心收录:

学科分类:0810[工学-信息与通信工程] 08[工学] 0805[工学-材料科学与工程(可授工学、理学学位)] 0802[工学-机械工程] 080201[工学-机械制造及其自动化] 0812[工学-计算机科学与技术(可授工学、理学学位)] 

基  金:国家自然科学基金资助项目(51475010 51105005) 北京市自然科学基金资助项目(3142005) 

主  题:空气静压主轴 稀薄效应 模态分析 动态性能 

摘      要:针对微尺度下空气静压主轴的动态特性问题,建立了体现稀薄效应的主轴有限元模型,对主轴的模态、谐响应进行了研究。首先,基于有限元法对主轴进行建模,轴承部分采用Combin14弹簧单元建模。接着,通过扰动法得出稀薄效应下以及传统情况下轴承的刚度、阻尼参数,将此参数替代主轴模态分析中采用的弹簧单元的刚度、阻尼参数,结合主轴实际工作状态,进而分析出两种情况下的主轴的模态结果。然后,对主轴进行谐响应分析,校核之前模态分析结果。最后,对主轴进行锤击模态试验,从而检验两种状态下的模态分析结果。实验结果表明:稀薄效应下分析所得主轴1阶固有频率值较试验测量值的误差只有3.6%左右,而传统情况下得出的1阶频率值的误差在15%左右,这对主轴系统以后的优化设计和精度控制方面具有一定的理论依据。

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