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大型单晶炉热场设计的探讨

作者：牛筱民

出版物：《LSI制造与测试》

年卷期：1992年第13卷第6期

页面：21-25,32页

学科分类：080603[工学-有色金属冶金] 08[工学] 0806[工学-冶金工程]

主　　题：半导体材料单晶炉热场设计

本地馆藏 |

1、借阅数量：每证可借书6册，期刊2册，团体读者证可借书刊300册。 2、借阅时间：个人借期为30天，每本书可续借1次，借期为30天；团体借期为90天。 3、归还地点：3楼服务台、自助借还设备、还书箱、各分馆 4、馆际互借：读者未能在本馆获取所需文献资料，可至参考咨询阅览室服务台填写《南通市图书馆馆际互借读者申请表》，根据馆际互借协议，我馆将为读者向其他馆代借文献。馆际互借过程中所产生的费用（资料复印、邮寄费等），由读者个人承担。 5、服务电话续借：59003605 59003606 咨询：81100100 59003600

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