聚焦离子束(FIB)中的离子光学问题
Some ion optics topics in FIB作者机构：北京大学物理学院电镜室北京100871 北京大学资金管理部北京100871
出 版 物：《电子显微学报》 (Journal of Chinese Electron Microscopy Society)
年 卷 期：2002年第21卷第4期
页 面：411-415页
核心收录：
学科分类：080901[工学-物理电子学] 0809[工学-电子科学与技术（可授工学、理学学位）] 08[工学]
主 题：离子光学 聚焦离子束 FIB 液态金属离子源 LMIS 静电透镜 空间电荷效应 发射机制
摘 要：本文简要讨论了聚焦离子束中的离子光学问题 ,包括液态金属离子源的发射机制和发射特性 ,如虚源、角电流强度、能量分散、伏安特性、束流起伏、聚焦限制、离子束中的化学成分及源的寿命。讨论了离子光学柱体的组成与特征 ,束流一束径关系 ,束中电流密度分布 ,以及空间电荷效应等。
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