高灵敏巨磁阻抗小型磁传感器研制

作     者：黄敬晖 郝洁 张延松 唐家耘 钱坤明 丁昂 HUANG Jing-hui;HAO Jie;ZHANG Yan-song;TANG Jia-yun;QIAN Kun-ming;DING Ang

作者机构：中国兵器科学研究院宁波分院浙江宁波315000 

出 版 物：《传感器与微系统》 (Transducer and Microsystem Technologies)

年 卷 期：2016年第35卷第8期

页      面：84-86页

学科分类：080202[工学-机械电子工程] 08[工学] 0802[工学-机械工程] 

主　　题：巨磁阻抗 磁传感器 钴基非晶条带 灵敏度 

摘      要：利用单辊快淬法制备了Co Fe Ni Si B非晶薄带,经过400 A/mm2电流密度、20 ms脉冲间隔条件下的脉冲退火后具有较好的弱磁场灵敏性能。以该带材为磁敏材料,基于纵向驱动方式研制了一种巨磁阻抗(GMI)磁传感器,该磁传感器尺寸小、灵敏度高、频率响应好,±0.05 m T弱磁场范围内灵敏度可达到44.15 V/m T,在高灵敏度小型磁传感器领域具有较大的应用潜力。