自润滑Cr/C复合镀层的制备和机械性能研究

作     者：贾贵西 李言 李洪涛 胡鹏飞 张翔 蒋百灵 JIA Gui-xi;LI Yan;LI Hong-tao;HU Peng-fei;ZHANG Xiang;JIANG Bai-ling

作者机构：西安理工大学机械与精密仪器工程学院陕西西安710048 西安理工大学材料科学与工程学院陕西西安710048 

出 版 物：《功能材料》 (Journal of Functional Materials)

年 卷 期：2010年第41卷第7期

页      面：1150-1153,1157页

核心收录：

学科分类：08[工学] 0805[工学-材料科学与工程（可授工学、理学学位）] 080502[工学-材料学] 

基　　金：国家高技术研究发展计划(863计划)资助项目(2005AA33H010) 

主　　题：磁控溅射 溅射工艺参数 Cr/C自润滑镀层 机械性能 

摘      要：采用闭合场非平衡磁控溅射技术,固定碳靶电流参数,调节铬靶电流参数,在GCr15轴承钢球、45#钢和单晶硅基体上制备出自润滑Cr/C复合镀层。用XRD对镀层相结构进行分析,测试了镀层的摩擦系数、磨损率、结合强度、硬度和韧性,用光学显微镜观察镀层磨损形貌。结果表明,镀层相结构为非晶态,随铬靶电流变大逐渐向晶态转变;与未镀层的基体相比,镀层有良好的摩擦磨损性能和载荷承载能力;镀层随铬靶电流增加,硬度逐渐降低,韧性逐渐提高。所获铬电流为0.1和0.3A镀层有很好的自润滑性能,且后者有良好的综合机械性能。