可钢化TiO2-Si3N4-CrNx-Ag-NiCrOx-ZnO-Si3N4玻璃涂层的制备和性能表征

作     者：高春森 邓跃全 董发勤 杨瑞 解忠雷 许春凤 GAO Chunsen;DENG Yuequan;DONG Faqin;YANG Rui;XIE Zhonglei;XU Chunfeng

作者机构：西南科技大学材料科学与工程学院 

出 版 物：《材料导报》 (Materials Reports)

年 卷 期：2010年第24卷第S1期

页      面：476-479页

核心收录：

学科分类：08[工学] 0805[工学-材料科学与工程（可授工学、理学学位）] 080502[工学-材料学] 

基　　金：先进建筑材料四川省重点实验室培养重点项目(08ZXXP11) 

主　　题：可钢化 TiO -Si N -CrN -Ag-NiCrO -ZnO-Si N 膜 微观结构 物理性能 

摘      要：采用磁控溅射法制备了可钢化TiO-SiN-CrN-Ag-NiCrO-ZnO-SiN复合玻璃涂层（TSCANZSLow-E玻璃）,并对其微观结构和物理性能进行了测试。AFM分析发现,薄膜表面光滑平整,粗糙度R为0.323nm;XPS探测到膜层表面存在TiO和SiN;四探针面电阻测试仪测定薄膜方阻R为8.81Ω/□,比辐射率值为0.108;光学性能分析显示可见光透过率达81%,在2500nm处的中远红外区反射率达80%;剥落实验证明薄膜与玻璃基底之间具有良好的附着性;钢化测试结果符合国标要求。