氢原子谱线测定EACVD中电子平均温度

作     者：尚勇 董丽芳 王志军 SHANG Yong;DONG Li-fang;WANG Zhi-jun

作者机构：河北大学物理科学与技术学院河北保定071002 

出 版 物：《光谱学与光谱分析》 (Spectroscopy and Spectral Analysis)

年 卷 期：2005年第25卷第4期

页      面：494-496页

核心收录：

学科分类：07[理学] 08[工学] 070203[理学-原子与分子物理] 0805[工学-材料科学与工程（可授工学、理学学位）] 0702[理学-物理学] 

基　　金：河北省自然科学基金 (50 2 1 2 1 )资助项目 

主　　题：EACVD 平均温度 氢原子 测定 蒙特卡罗方法 振动激发 电子激发 碰撞过程 金刚石薄膜 CH4 发射过程 混合气体 弹性碰撞 动量传输 相对强度 实时监测 工艺条件 有效控制 非弹性 分解 电离 γ谱线 模拟 H2 表面 

摘      要：采用蒙特卡罗方法,对以CH4/H2 混合气体为原料气体的EACVD中氢原子的发射过程进行了模拟。在模拟中考虑了电子与H2 的弹性碰撞及振动激发、分解、电子激发、相应于Hα,Hβ,Hγ谱线的激发、电离及分解电离等非弹性碰撞过程;与CH4的碰撞考虑了弹性动量传输及振动激发、分解、电子激发、电离及分解电离等非弹性碰撞过程。研究了不同CH4浓度下基片表面上电子平均温度与氢原子谱线相对强度的关系,给出了一种对EACVD中电子平均温度进行实时监测的方法。对于有效控制工艺条件,生长出高质量的金刚石薄膜具有重要意义。